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真空密封从密封圈的材料来分主要有橡胶、聚四氟乙烯、聚氨酯等合成材料组成的密封以及金属密封。
橡胶、合成材料具有的高弹性、高耐磨性和适宜的机械强度等优点,使其广泛应用于真空密封,但是因其具有较大的出气率和渗透率,并且不能高温烘烤、不耐辐射等特点,而受到应用限制。
金属密封则弥补了橡胶密封的以上缺点,因而广泛应用于超高真空环境。对于超高真空,一般要求漏率小于1×10-11Pa·m3/s,为了更好的密封配合,一般要求重庆法兰密封面的粗糙度≤Ra0.8。由于金属材料同样具有一定的弹性以及延展性,所以常常作为各种真空以及压力设备的密封。
在金属密封圈受到外界压力而发生弹性变形时,在弹性恢复力的作用下,密封圈具有恢复原始形状的趋向,这种趋向填补了密封面的缝隙,从而起到密封的作用。
应用金属的弹性作为密封件的材料有:无氧铜、纯铝、金、银等硬度相对较软的金属;某些金属如金属铟,因其具有很好的延展性,在受到外界压力后可以向各个方向流动,填补密封面缝隙,同样可以起到密封作用。
无氧铜和纯铝价格相对便宜,常作为标准件密封圈使用。无氧铜密封圈在刀口重庆法兰(CF)中使用最广,并且已形成国家标准,具体可参考标准GB/T6071-2003《超高真空法兰》。